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英国Ossila-UVO,是一种简单,经济,快速的材料表面清洗设备,只需把样品放置到样品盘上,关上舱门,设置时间,并按运行,就可以了,能快速去除大多数无机基材(比如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝等)上的有机污染物。特别是当基材和薄膜蒸镀需要很好的粘接时,紫外清洗非常理想。要获得超洁净的表面,只需要在传统清洗后,再用紫外臭氧清洗几分钟就可获得!
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