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紫外臭氧清洗机(UVOzone Cleaner, UVO),是一种简单,经济,快速高效的材料表面清洗设备,能快速去除大多数无机基材(比如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝等)表面上的有机污染物。
CIF臭氧中和器(UVO-N)是紫外臭氧清洗机配套的臭氧去除设备。主要是通过纳米级金属氧化物催化剂分解臭氧,以及利用臭氧的不稳定性加速臭氧快速流动从而达到快速去除臭氧的目的。
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