匀胶旋涂仪

　　英国Ossila公司匀胶旋涂仪，操作简单，方便实用，旋涂均匀，结构小巧紧凑，为实验室提供了理想的解决方案，其采用创新设计的非真空卡盘式旋涂吸盘，无需真空泵或充氮气，就能达到很好的旋涂效果。匀胶旋涂仪可对大小不同规格的基材都可进行旋涂，尤其是对超薄样品，即使基片厚度0.7毫米、0.55毫米、0.2毫米或更薄时同样能达到旋涂效果。不会出现真空吸盘旋涂较薄的基材衬底翘曲现象，影响涂层的均匀性。匀胶旋涂仪广泛应用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺。

　　Ossila匀胶旋涂仪控制和显示：

　　1.非常方便设定处理速度和加速度程序段；可设置顺序循环控制；

　　2.显示精度控制在设定值的0.006%以内

　　3.操作者可随时随地自由实现人机交互；

　　设备运转进程中，可随意向前，向后或者往返跳跃操作步骤；

　　循环指令，并可以重复操作；

　　在运转模式下也可以实时改变速度和加速度；

　　包含PC程序端接口；

　　可视化操作模型（化学试剂，传感器所见即所得的操作界面）；

　　故障报警装置（可形象显明故障发生位置）。

匀胶旋涂仪技术性能

• 可在手套箱和通风厨内使用，基座面积仅为22.5x17cm。
• 无需真空泵、充氮气，节省保养维护费用。
• 创新设计非真空卡盘式吸盘，基材只需放置在卡盘式旋涂托盘适当位置，无需抽真空，就能达到旋涂效果。
• 耐酸碱防腐蚀FEP覆膜操作界面，坚固的不锈钢外壳，钢化的玻璃盖和耐酸碱防腐蚀的衬垫和聚丙烯材质旋涂托盘，使得在各种苛刻条件下仍能保证仪器正常运行。
• 匀胶旋涂仪采用液晶显示+按键操作控制界面。智能程序化控制，10个用户自定义协议，每个协议下可设置10个程序，每个程序多50个步骤。
• 内置水平校准装置，大限度的保证旋涂均匀，可对大小不同规格的基片进行旋涂。
• 电磁安全开关，盖子打开卡盘停止，保证运行安全。
• 转速稳定性：<2%。
• 转速：120-6000rpm。
• 定时器：1-1000秒。
• 电源：DC24V、2A, 使用100-240V 50/60Hz电源适配器。
• 尺寸：220x170x132mm。
• 左：普通旋涂机上有真空密封环形印迹     右：Ossila非真空式旋涂效果